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SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

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a2630721195 发表于 2021-12-10 13:23 | 显示全部楼层 |阅读模式
本标准为SJ/T 11763-2020,标准的中文名称为半导体制造设备人机界面规范,本标准在2020-12-09发布,在2021-04-01开始实施。
本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。
本标准文件共有17页。
SJ_T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范.pdf (8.78 MB)
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穿越火线客服 发表于 2021-12-15 18:59 | 显示全部楼层
下载很快
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旧心情 发表于 2021-12-23 21:36 | 显示全部楼层
好资源,正好需要
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