GB/T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

萌萌哒小魔皇 · 发表于 2021-4-12 16:38

微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法（GB/T 34899-2017），该标准的归口单位为全国微机电技术标准化技术委员会，英文名为Micro-electromechanical system technology. Measuring method of microstructure surface stress based on Raman spectroscopy。
微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法（GB/T 34899-2017）是在2017-11-01发布，在2018-05-01开始实施。
本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。本标准适用于微机电系统(MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
本标准文件共有16页。

GB_T 34899-2017 微机电系统（MEMS）技术基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法.pdf (2.08 MB)

4324234 · 发表于 2022-6-8 22:46

感谢分享

LimpBizKit · 发表于 2023-4-18 01:50

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