GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

晓殇、 · 发表于 2021-4-11 05:05

蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法（GB/T 34504-2017），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会，英文名为Measurement method for surface metal contamination on sapphire polished substrate wafer。
蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法（GB/T 34504-2017）是在2017-10-14发布，在2018-05-01开始实施。
本标准规定了蓝宝石抛光衬底片表面深度为5nm以内的残留金属元素的全反射X光荧光光谱测试方法。本标准适用于蓝宝石抛光衬底片表面残留的、在元素周期表中11(Na)～92(U)号(除去铝和氧)，且面密度在10^9 atoms/cm^2～10^15atoms/cm^2范围内元素的定量测量。其他用途蓝宝石抛光片表面残留金属元素的测量可参照本标准执行。
本标准文件共有13页。

GB_T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法.pdf (1006.44 KB)

扩珞 · 发表于 2022-6-16 05:10

好资源，正好需要

龙泉牛 · 发表于 2022-6-16 06:12

谢谢分享！！！

.33 · 发表于 2022-6-25 18:16

感谢分享

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GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法

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