本标准为GB/T 29732-2021，标准的中文名称为表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准，标准的英文名称为Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis，本标准在2021-12-31发布，在2022-07-01开始实施。
该标准采用了标准IDT,ISO 17973-2016。
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为2eV，配有情性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
本标准文件共有14页。
GB_T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准.pdf
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