硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法（GB/T 42263-2022），英文名为Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method。
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法（GB/T 42263-2022）是在2022-12-30发布，在2023-04-01开始实施。
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本标准文件共有7页。 GB_T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法.pdf(502.07 KB)
