本标准为GB/T 38614-2020，标准的中文名称为基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法，标准的英文名称为Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator，本标准在2020-04-28发布，在2020-11-01开始实施。
本标准文件共有15页。 GB_T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法.pdf(1.62 MB)
