GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

a1915281057 · 发表于 2021-3-6 11:02

本标准为GB/T 38614-2020，标准的中文名称为基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法，标准的英文名称为Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator，本标准在2020-04-28发布，在2020-11-01开始实施。
本标准文件共有15页。

GB_T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法.pdf (1.62 MB)

ai729167557 · 发表于 2021-12-23 11:28

支持一下

WWH521 · 发表于 2021-12-24 16:05

看看先

小伟 · 发表于 2025-5-10 19:51

看看这个规范

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GB/T 38614-2020 基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台测量方法

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