GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

qichaoqun · 发表于 2024-2-5 20:38

硅片表面光泽度的测试方法（GB/T 42789-2023），英文名为Test method for gloss of silicon wafer。
硅片表面光泽度的测试方法（GB/T 42789-2023）是在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本文件描述了采用光反射法以 20°、60°或 85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试，不适用于表面有图形的硅片的测试。
本标准文件共有9页。

GB_T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法.pdf (597.1 KB)

余孽 · 发表于 2024-3-8 19:59

这个不错

huangye · 发表于 2024-3-9 01:52

看看怎样

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