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GB/T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法

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qichaoqun 发表于 2024-2-5 20:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
硅片表面光泽度的测试方法(GB/T 42789-2023),英文名为Test method for gloss of silicon wafer。
硅片表面光泽度的测试方法(GB/T 42789-2023)是在2023-08-06发布,在2024-03-01开始实施。
本文件描述了采用光反射法以 20°、60°或 85°几何条件测试硅片表面光泽度的方法。本文件适用于硅腐蚀片、抛光片、外延片表面光泽度的测试,不适用于表面有图形的硅片的测试。
本标准文件共有9页。
GB_T 42789-2023 硅片表面光泽度的测试方法.pdf (597.1 KB)
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