本标准为GB/T 43313-2023，标准的中文名称为碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法，标准的英文名称为Test method for surface quality and micropipe density of polished silicon carbide wafers—Confocal and differential interferometry optics，本标准在2023-11-27发布，在2024-06-01开始实施。
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