YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

临沂市田伯乐 · 发表于 2025-6-13 16:46

本标准为YS/T 1601-2023，标准的中文名称为六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法，标准的英文名称为Determination of impurity content in hexachlorodisilane—Inductively coupled plasma mass spectrometry，本标准在2023-04-21发布，在2023-11-01开始实施。
本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g～50ng/g。
本标准文件共有8页。

YS_T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法.pdf (526.38 KB)

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YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法