GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法

低调~ · 发表于 2025-6-13 18:16

本标准为GB/T 42902-2023，标准的中文名称为碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法，标准的英文名称为Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method，本标准在2023-08-06发布，在2024-03-01开始实施。
本文件描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。本文件适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。
本标准文件共有13页。

GB_T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法.pdf (10.92 MB)

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GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法