SJ/T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范

294445843 · 发表于 2025-7-27 13:27

旋转式涂覆设备通用规范（SJ/T 11183-2022），英文名为General specification for spin coater。
旋转式涂覆设备通用规范（SJ/T 11183-2022）是在2022-10-20发布，在2023-01-01开始实施。
本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备。
本标准文件共有12页。

SJ_T 11183-2022 旋转式涂覆设备通用规范.pdf (4.95 MB)

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