JC/T 2392.3-2023 石英玻璃碇第3部分：等离子化学气相沉积法

qq123654789 · 发表于 2025-9-19 20:47

石英玻璃碇第3部分：等离子化学气相沉积法（JC/T 2392.3-2023），石英玻璃碇第3部分：等离子化学气相沉积法（JC/T 2392.3-2023）是在2023-12-20发布，在2024-07-01开始实施。
本文件规定了等离子化学气相沉积法石英玻璃碇的分级、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于以四氯化硅等无氢含硅化合物为原料，在等离子高温火焰中气相化学反应沉积而成的石英玻璃碇。
本标准文件共有11页。

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