GB/T 48095-2026 高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法

xubowei56 · 发表于 2026-9-20 11:41

《高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法》（GB/T 48095-2026），该标准的归口单位为中国科学院，英文名为Measurement method for topographic parameters of high-aspect-ratio microstructures utilize microscopic interferometry。
《高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法》（GB/T 48095-2026）是在2026-08-28发布，在2027-03-01开始实施。
本标准文件共有27页。

GB_T 48095-2026 高深宽比微结构形貌参数显微干涉测量方法.pdf (2.08 MB)

zzp123 · 发表于 2026-9-23 09:17

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