GB/T 47752-2026 微机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法

刀锋战士 · 发表于 2026-10-23 00:41

本标准为GB/T 47752-2026，标准的中文名称为微机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法，标准的英文名称为Micro-electromechanical systems (MEMS) technology—Test method of electrical characteristics after cyclic bending deformation for flexible micro-electromechanical devices，本标准在2026-07-02发布，在2027-02-01开始实施。
该标准采用了标准IDT,IEC 62047-43:2024。
本文件描述了柔性机电器件循环弯曲变形后电气特性的测试方法。该器件包括位于柔性薄膜上或嵌入柔性薄膜中的无源微元件和有源微元件。涉及的器件外形尺寸通常为1mm~300 mm，厚度通常为10 μm~1 mm，本测试方法旨在通过性能-弯曲程度-循环次数图（三维 P-S-N 图），在弯曲程度和重复循环次数的加载空间上可视化循环弯曲变形后的整个性能衰减情况。本文件对于在一定程度的循环弯曲变形下估算器件运行周期的安全裕度和可靠性至关重要。
本标准文件共有17页。

GB_T 47752-2026 微机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法.pdf (3.05 MB)

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