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GB/T 4937.28-2026 半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分:静电放电(ESD)敏感度测试 带电器件模型(CDM) 器件级

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yang8451526 发表于 2026-10-24 11:15 | 显示全部楼层 |阅读模式
半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分:静电放电(ESD)敏感度测试 带电器件模型(CDM) 器件级(GB/T 4937.28-2026),英文名为Semiconductor devices—Mechanical and climate test methods—Part 28: Electrostatic discharge (ESD) sensitivity testing—Charged device model (CDM)—device level。
半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分:静电放电(ESD)敏感度测试 带电器件模型(CDM) 器件级(GB/T 4937.28-2026)是在2026-02-27发布,在2026-09-01开始实施。
该标准采用了标准IDT,IEC 60749-28:2022。
本文件依据元器件和微电路对规定的带电器件模型(CDM)静电放电(ESD)所造成损伤或退化的敏感度,建立了元器件和微电路的ESD测试、评价、分级的程序。本文件适用于评价所有半导体封装器件、薄膜电路、声表面波(SAW)器件、光电器件、混合集成电路(HICs)及包括任意这些器件的多芯片组件(MCMs)。为进行测试,元器件需装配在与终端应用相似的封装中。本文件涉及的CDM模型不适用于插座式放电模型测试设备。本文件描述了场感应(FI)方法,另一种能作为替代的直接接触(DC)法见附录J。本文件的目的是建立一种能够复现 CDM 失效并为不同测试设备间提供可靠、可重复的 CDM ESD测试结果且不区分器件类型的测试方法。重复性数据保证了CDM ESD敏感度等级的准确划分及对比。
本标准文件共有44页。
GB_T 4937.28-2026 半导体器件 机械和气候试验方法 第28部分:静电放电(ESD)敏感度测试 带电器件模型(CDM) 器件级.pdf (5.9 MB)
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