GB/T 42709.6-2026 半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法

984286332 · 发表于 2026-10-25 20:59

本标准为GB/T 42709.6-2026，标准的中文名称为半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法，标准的英文名称为Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials，本标准在2026-07-30发布，在2027-02-01开始实施。
该标准采用了标准IDT,IEC 62047-6:2009。
本文件描述了长度、宽度尺寸均小于1 mm，且厚度尺寸在0.1 μm~10 μm之间的薄膜材料在恒定力范围或者恒定位移范围内的轴向拉伸疲劳试验方法。薄膜是微机电系统（MEMS）和微机械的主要结构材料。用于 MEMS、微机械等的主要结构材料具有特殊特征，例如微米级的典型尺寸，采用沉积工艺制造材料，通过非机械方式（包括光刻）加工试样。本文件描述了微型光滑试样的轴向力疲劳试验方法，该方法能保证与特殊特征相对应的精度。试验在室温、空气中进行，载荷沿试样的纵轴加载。
本标准文件共有18页。

GB_T 42709.6-2026 半导体器件微电子机械器件第6部分：薄膜材料轴向疲劳试验方法.pdf (1.12 MB)

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