蓝宝石单晶位错密度测量方法（GB/T 33763-2017），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会，英文名为Test method for dislocation density of sapphire single crystal。
蓝宝石单晶位错密度测量方法（GB/T 33763-2017）是在2017-05-31发布，在2017-12-01开始实施。
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm^2～100 000个/cm^2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001},{1120},{1012}.{1010}面。
本标准文件共有8页。
GB_T 33763-2017 蓝宝石单晶位错密度测量方法.pdf
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