本标准为GB/T 32997-2016，标准的中文名称为表面化学分析 辉光放电发射光谱定量成分深度剖析的通用规程，标准的英文名称为Surface chemical analysis. General procedures for quantitative compositional
depth profiling by glow discharge optical emission spectrometry，本标准在2016-10-13发布，在2017-09-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 11505-2012,IDT。
本标准规定了辉光放电发射光谱法测定材料表层薄膜的厚度、质量（单位面积）和化学成分的方法。本标准仅限于辉光放电发射光谱法深度剖析定量化通用规程的描述，并不能直接应用于具有不同厚度和元素的待测个体材料的定量化。
本标准文件共有29页。
GB_T 32997-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱定量成分深度剖析的通用规程.pdf
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