本标准为YS/T 1164-2016，标准的中文名称为硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法，标准的英文名称为Test method for the content of impurities in high purity quartz used for silicon material. Inductively coupled plasma atomic emission spectrometry method，本标准在2016-07-11发布，在2017-01-01开始实施。
本标准规定了多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测试方法。本标准适用于多晶硅用高纯石英制品中铝、钙、钾、钠、铜、镁、磷、砷、锌、镍、硼含量的测定，测定范围见表1。
本标准文件共有7页。 YS_T 1164-2016 硅材料用高纯石英制品中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法.pdf(334.66 KB)
