电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素（GB/T 32650-2016），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS)。
电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素（GB/T 32650-2016）是在2016-04-25发布，在2016-11-01开始实施。
本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素的测定方法。本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。
本标准文件共有8页。 GB_T 32650-2016 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素.pdf(400.42 KB)
