用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量（SJ/T 11554-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备与材料标准化技术委员会，英文名为Determination of the metals'concentration of hydrofluoric acid by ICP-OES。
用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量（SJ/T 11554-2015）是在2015-10-10发布，在2016-04-01开始实施。
本标准规定了采用电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）测定氢氟酸中金属元素的试验方法。本标准适用于电子工业用氢氟酸中痕量金属元素钠（Na）、镁（Mg）、铝（Al)、钾（K)、钙（Ca)、钛（Ti）、钒(V)、铬（Cr)、锰（(Mn)、铁（Fe）、钴（Co）、镍（Ni）、铜（Cu）、锌（Zn）、砷（As）、锶（Sr）、银（Ag）、镉（Cd）、锡（Sn）、锑（Sb）、钡（Ba）、铅（Pb）的测定。本方法标准适用于微量测定，推荐测定元素的浓度范围为0.01mg/L～1mg/L。应用本标准时，电感耦合等离子体发射光谱仪（ICP-OES）应有较好的工作环境，推荐不低于GB 50472中规定的100000级的洁净室。本标准不涉及使用安全性问题，本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。
本标准文件共有12页。 SJ_T 11554-2015 用电感耦合等离子体发射光谱法测定氢氟酸中金属元素的含量.pdf(2.21 MB)
