本标准为GB/T 20726-2015，标准的中文名称为微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法，标准的英文名称为Micobeam analysis. selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis，本标准在2015-10-09发布，在2016-09-01开始实施。
该标准采用了标准ISO 15632-2012,IDT。
本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探侧器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程,在ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]中已有规范,不在本标准范围之内。
本标准文件共有14页。
GB_T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法.pdf
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