GB/T 31986-2015 电子工业用气体八氟丙烷

546546165351 · 发表于 2021-4-9 06:51

电子工业用气体八氟丙烷（GB/T 31986-2015），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Gas for electronic industry. Perfluoropropane。
电子工业用气体八氟丙烷（GB/T 31986-2015）是在2015-09-11发布，在2016-05-01开始实施。
本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。
本标准文件共有8页。

GB_T 31986-2015 电子工业用气体八氟丙烷.pdf (495.92 KB)

若北 · 发表于 2024-8-20 03:13

这个可以有

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