硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法（YS/T 1059-2015），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Determination of total carbon content in trichlorosilane for silicon eqitaxy. Gas chromatographic method。
硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法（YS/T 1059-2015）是在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定,测定范围为0.000 05%～0.005%。
本标准文件共有8页。
YS_T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法.pdf
(297.05 KB)
|
|
