本标准为YS/T 1060-2015，标准的中文名称为硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法，标准的英文名称为Determination of other chlorosilane in trichlorosilane for silicon eqitaxy. Gas chromatographic method，本标准在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氯二氢硅、四氯化硅)含量的气相色谱测定方法。本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷(包括二氧二氢硅、四氧化硅)含量的测定。测定下限为0.002%。
本标准文件共有9页。 YS_T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法.pdf(310.86 KB)
