本标准为YS/T 15-2015，标准的中文名称为硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法，标准的英文名称为Test method for thickness of epitaxial layers and diffused layers by angle lap stain，本标准在2015-04-30发布，在2015-10-01开始实施。
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量,测量范围为1 μm～100 μm。
本标准文件共有7页。
YS_T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法.pdf
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