本标准为JC/T 2243-2014，标准的中文名称为等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管，标准的英文名称为Quartz tube covered in a film for PECVD，本标准在2014-10-14发布，在2015-04-01开始实施。
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管(以下简称PE石英管)。
本标准文件共有7页。 JC_T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管.pdf(292.74 KB)
