原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法（GB/T 31227-2014），该标准的归口单位为全国纳米技术标准化技术委员会，英文名为Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films。
原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法（GB/T 31227-2014）是在2014-09-30发布，在2015-04-15开始实施。
本标准规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。本标准适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100 nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
本标准文件共有11页。 GB_T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法.pdf(463.14 KB)
