多晶硅工厂设计规范(附条文说明)（GB 51034-2014），该标准的归口单位为中国有色金属工业工程建设标准规范管理处，英文名为Code for design of polysilicon plant。
多晶硅工厂设计规范(附条文说明)（GB 51034-2014）是在2014-08-27发布，在2015-05-01开始实施。
本规范适用于采用三氯氢硅氢还原法的新建、扩建和改建多晶硅工厂的工程设计,也适用于硅烷歧化法多晶硅厂中三氯氢硅合成、四氯化硅氢化和氯硅烷提纯的工程设计。
本标准文件共有124页。
GB 51034-2014 多晶硅工厂设计规范(附条文说明).pdf
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