GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法

唐三少 · 发表于 2021-4-12 11:34

碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法（GB/T 30868-2014），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会;全国半导体设备及材料分技术委员会，英文名为Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafer. Chemically etching。
碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法（GB/T 30868-2014）是在2014-07-24发布，在2015-02-01开始实施。
本标准规定了利用熔融氢氧化钾法测定碳化硅单晶微管密度的方法。本标准适用于碳化硅单晶微管密度的测定。
本标准文件共有7页。

GB_T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定化学腐蚀法.pdf (2 MB)

prh7498 · 发表于 2023-12-13 12:03

下载很快

cc286 · 发表于 2024-4-9 13:32

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GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

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