光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法（GB/T 29852-2013），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会，英文名为Test method for measuring phosphorus,arsenic and antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry。
光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法（GB/T 29852-2013）是在2013-11-12发布，在2014-04-15开始实施。
本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法,本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于1×10(14)atoms/cm3。
本标准文件共有7页。
GB_T 29852-2013 光伏电池用硅材料中P、As、Sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法.pdf
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