本标准为GB/T 29557-2013，标准的中文名称为表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量，标准的英文名称为Surface chemical analysis. Depth Profiling. Measurment of sputtered depth，本标准在2013-07-19发布，在2014-03-01开始实施。
该标准采用了标准ISO/TR 15969-2001.IDT。
本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。
本标准文件共有16页。
GB_T 29557-2013 表面化学分析 深度剖析 溅射深度测量.pdf
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