溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法（YS/T 837-2012），该标准的归口单位为全国有色金属标准化技术委员会，英文名为Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies。
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法（YS/T 837-2012）是在2012-11-07发布，在2013-03-01开始实施。
本标准规定溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等,该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
本标准文件共有10页。
YS_T 837-2012 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法.pdf
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