GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

久久 · 发表于 2021-4-11 19:15

硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范（GB/T 28276-2012），该标准的归口单位为全国微机电技术标准化技术委员会，英文名为Silicon-based MEMS fabrication technology.
Specification for dissolved wafer process。
硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范（GB/T 28276-2012）是在2012-05-11发布，在2012-12-01开始实施。
本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
本标准文件共有15页。

GB_T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范.pdf (480.41 KB)

Clearlove · 发表于 2024-4-5 13:48

谢谢分享！！！！

liwenkai · 发表于 2024-4-9 16:02

不错不错

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