利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法（GB/T 27760-2011），该标准的归口单位为全国纳米技术标准化技术委员会，英文名为Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps。
利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法（GB/T 27760-2011）是在2011-12-30发布，在2012-05-01开始实施。
该标准采用了标准ASTM E2530-2006,MOD。
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z向放大倍率达到最大量级,即z向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
本标准文件共有14页。
GB_T 27760-2011 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法.pdf
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