JB/T 4081-2011 真空技术溅射离子泵

ylx · 发表于 2021-4-10 02:56

真空技术溅射离子泵（JB/T 4081-2011），该标准的归口单位为全国真空技术标准化技术委员会，英文名为Vacuum technology. Sputter-ion pumps。
真空技术溅射离子泵（JB/T 4081-2011）是在2011-12-20发布，在2012-04-01开始实施。
本标准规定了普通型式的溅射离子泵(以下简称离子泵)的型式与基本参数、要求、测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及质量保证要求。本标准适用于普通型式的溅射离子泵。
本标准文件共有14页。

JB_T 4081-2011 真空技术溅射离子泵.pdf (396.14 KB)

利威尔 · 发表于 2022-3-12 09:18

看一下

1337587167 · 发表于 2022-9-22 16:14

谢谢分享！！！！

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JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵

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