GB/T 17874-2010 电子工业用气体三氯化硼

坑爹 · 发表于 2021-4-9 14:40

电子工业用气体三氯化硼（GB/T 17874-2010），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会，英文名为Gases for electronic industry. Boron trichloride。
电子工业用气体三氯化硼（GB/T 17874-2010）是在2011-01-14发布，在2011-05-01开始实施。
本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料,采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼,主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
本标准文件共有9页。

GB_T 17874-2010 电子工业用气体三氯化硼.pdf (239.34 KB)

billy · 发表于 2022-10-21 16:39

这个不错

qqq2857126285 · 发表于 2024-2-27 08:42

强强强强

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GB/T 17874-2010 电子工业用气体 三氯化硼

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