GB/T 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法

liu1509314922 · 发表于 2021-4-11 16:31

锗单晶电阻率直流四探针测量方法（GB/T 26074-2010），该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会，英文名为Germanium monocrystal. Measurement of resistivity. DC linear four-point probe。
锗单晶电阻率直流四探针测量方法（GB/T 26074-2010）是在2011-01-10发布，在2011-10-01开始实施。
标准规定了用直流四探针法测量锗单晶电阻率的方法。本标准适用于测量试样厚度和从试样边缘与任一探针端点的最近距离二者均大于探针间距的4倍锗单晶的体电阻率以及测量直径大于探针间距的10倍、厚度小于探针间距4倍锗单晶圆片(简称圆片)的电阻率。
本标准文件共有9页。

GB_T 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法.pdf (204.62 KB)

羁绊 · 发表于 2022-1-16 02:36

谢谢分享！！！！

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GB/T 26074-2010 锗单晶电阻率直流四探针测量方法

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