吸气剂气体吸放性能测试方法(GB/T 25497-2010),该标准的归口单位为全国半导体设备和材料标准化技术委员会,英文名为Test methods for gas absorbency and release of getters。
吸气剂气体吸放性能测试方法(GB/T 25497-2010)是在2010-12-01发布,在2011-05-01开始实施。
本标准规定了吸气剂放气量的测试方法、掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法、释汞吸气剂放气回吸曲线的测试方法、定压法吸气性能测试方法、定容法吸气性能测试方法等吸气剂气体吸放性能测试方法。本标准适用于真空器件用吸气剂。
本标准文件共有16页。 GB_T 25497-2010 吸气剂气体吸放性能测试方法.pdf(566.63 KB)