GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮

3081nws526 · 发表于 2021-4-10 21:52

本标准为GB/T 16944-2009，标准的中文名称为电子工业用气体氮，标准的英文名称为Gas for electronic industry. Nitrogen，本标准在2009-10-30发布，在2010-05-01开始实施。
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。
本标准文件共有9页。

GB_T 16944-2009 电子工业用气体氮.pdf (315.21 KB)

生鱼片 · 发表于 2022-1-15 04:15

好资源，正好需要

晓林 · 发表于 2022-2-17 21:11

强强强强

小二 · 发表于 2025-6-18 03:46

这个可以有

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GB/T 16944-2009 电子工业用气体 氮

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