GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术术语

刘力扬 · 发表于 2021-4-9 06:47

本标准为GB/T 26111-2010，标准的中文名称为微机电系统(MEMS)技术术语，标准的英文名称为Micro-electromechanical system technology. Terms，本标准在2011-01-10发布，在2011-10-01开始实施。
本标准规定了微机电系统领域所涉及的材料、设计、加工、封装、测量以及器件等方面的通用术语和定义。本标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。
本标准文件共有37页。

GB_T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术术语.pdf (1.23 MB)

怡友 · 发表于 2022-1-17 15:28

支持一下

666666 · 发表于 2022-6-20 12:21

好资源，正好需要

走向卐光明 · 发表于 2026-6-27 10:43

mark一下

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GB/T 26111-2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

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