GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则:光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则（GB/T 16880-1997），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Guidelines for photomask defect classification and size definition。
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则（GB/T 16880-1997）是在1997-06-20发布，在1998-03-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI P22-1993,IDT。
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语,并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
本标准文件共有7页。
GB_T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则.pdf