GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

flw11136335200 · 发表于 2021-4-13 07:40

光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则（GB/T 16880-1997），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Guidelines for photomask defect classification and size definition。
光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则（GB/T 16880-1997）是在1997-06-20发布，在1998-03-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI P22-1993,IDT。
本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语,并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。
本标准文件共有7页。

GB_T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则.pdf (296.3 KB)

瀚风影 · 发表于 2022-2-8 08:44

支持一下

174566 · 发表于 2022-2-9 09:41

好东西！！！

煎煽烁 · 发表于 2025-6-10 17:19

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