GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范:确定晶片坐标系规范（GB/T 16596-1996），该标准的归口单位为中国有色金属工业总公司标准计量研究所，英文名为Specification for establishing a wager coordinate system。
确定晶片坐标系规范（GB/T 16596-1996）是在1996-11-04发布，在1997-04-01开始实施。
它在2020-02-01作废。被标准GB/T 16596-2019替代。
该标准采用了标准SEMI M20-1992,MOD。
本规范规定了利用晶片中心作为极坐标(r-θ-z)或直角坐标(x-y-z)的原点,可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。
本标准文件共有6页。
GB_T 16596-1996 确定晶片坐标系规范.pdf