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GB/T 16596-1996 确定晶片坐标系规范

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p5360331 发表于 2021-4-13 12:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
确定晶片坐标系规范(GB/T 16596-1996),该标准的归口单位为中国有色金属工业总公司标准计量研究所,英文名为Specification for establishing a wager coordinate system。
确定晶片坐标系规范(GB/T 16596-1996)是在1996-11-04发布,在1997-04-01开始实施。
它在2020-02-01作废。被标准GB/T 16596-2019替代。
该标准采用了标准SEMI M20-1992,MOD。
本规范规定了利用晶片中心作为极坐标(r-θ-z)或直角坐标(x-y-z)的原点,可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。
本标准文件共有6页。
GB_T 16596-1996 确定晶片坐标系规范.pdf (145.49 KB)
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草泥马 发表于 2022-3-26 01:06 | 显示全部楼层
不错不错
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wbesty 发表于 2022-4-6 22:48 | 显示全部楼层
看一下
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kaygod 发表于 2025-12-7 22:58 | 显示全部楼层
我想下这个
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