GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜:硬面光掩模用铬薄膜（GB/T 15870-1995），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Chrome thin films for hard surface photomasks。
硬面光掩模用铬薄膜（GB/T 15870-1995）是在1995-12-22发布，在1996-08-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI P2-1986,NEQ。
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜(以下简称铬薄膜)。
本标准文件共有8页。
GB_T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf