GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

阿风 · 发表于 2021-4-12 05:15

硬面光掩模用铬薄膜（GB/T 15870-1995），该标准的归口单位为电子工业部标准化研究所，英文名为Chrome thin films for hard surface photomasks。
硬面光掩模用铬薄膜（GB/T 15870-1995）是在1995-12-22发布，在1996-08-01开始实施。
该标准采用了标准SEMI P2-1986,NEQ。
本标准规定了硬面光掩模用铬薄膜的要求、试验方法、检验规则等内容。本标准适用于硬面光掩模用铬薄膜(以下简称铬薄膜)。
本标准文件共有8页。

GB_T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜.pdf (177.86 KB)

爸爸 · 发表于 2025-4-25 13:16

非常不错，谢谢

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GB/T 15870-1995 硬面光掩模用铬薄膜

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