GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片:蓝宝石单晶抛光衬底片(GB/T 13843-1992),该标准的归口单位为无,英文名为Polished monocrystalline sapphire substrates。
蓝宝石单晶抛光衬底片(GB/T 13843-1992)是在1992-12-28发布,在1993-08-01开始实施。
它在2017-12-15作废。本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
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