GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

李艺兴哟_ · 发表于 2021-4-11 01:56

蓝宝石单晶抛光衬底片（GB/T 13843-1992），该标准的归口单位为无，英文名为Polished monocrystalline sapphire substrates。
蓝宝石单晶抛光衬底片（GB/T 13843-1992）是在1992-12-28发布，在1993-08-01开始实施。
它在2017-12-15作废。本标准规定了生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片的技术要求、测试方法、检验规则。本标准适用于制备半导体器件的生长硅的高纯蓝宝石单晶抛光衬底片。
本标准文件共有10页。

GB_T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片.pdf (738.2 KB)

酷酷的小啊宇 · 发表于 2022-3-24 22:09

很给力~

残魂丶 · 发表于 2022-3-28 19:33

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GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片

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