GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法:半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法（GB/T 4298-1984），该标准的归口单位为无，英文名为The activation analysis method for the determination of elemental impurities in semiconductor silicon materials。
半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法（GB/T 4298-1984）是在1984-03-28发布，在1985-03-01开始实施。
它在2017-12-15作废。本标准适用于单晶硅、多晶硅中金属杂质元素和非金属杂质元素含量的测定。本标准包括杂质元素(十六个)的反应堆中子活化仪器分析方法、铜和砷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、磷的反应堆中子活化放射化分离分析方法、氧的α粒子活化仪器分析方法和碳的氚子活化仪器分析方法。
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